Ionenimplantation
Überholung und Beschichtung von Ionenimplantat-Scheiben
Verlängern Sie die Lebensdauer, senken Sie die Betriebskosten und verbessern Sie die Leistung Ihrer Ionenimplantationsanlagen mit den Dienstleistungen Coherent zur Aufarbeitung und Beschichtung Coherent .
Coherent umfassende Kompetenzen in der Reparatur, Aufarbeitung und Wiederaufbereitung von allen Arten von Ionenimplantationsscheiben und Kühlkörpern. Dies umfasst alle Marken und Modelle von Ionenimplantationsanlagen für die Serienfertigung, die seit Ende der 1970er Jahre bis heute hergestellt wurden.
Kernkompetenzen
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Das ergibt alles zusammen Unsere branchenführenden Innovationen ermöglichen eine Verdopplung der Lebensdauer, eine Reduzierung der Wafer-Absplitterungen um 99 %, eine Verringerung der Metallverunreinigungen um 50 %, eine Verringerung der Partikelbildung durch „Verschleißrillen“ an den Begrenzungsleisten um 80 % sowie eine durchschnittliche Senkung der Betriebskosten um 30 %. |
Hochleistungsbeschichtungen Die Beschichtung Coherent -Sockels aus Coherent und des Kühlkörpers sorgt für eine bessere Kühlung der Wafer, steigert die Produktivität und verbessert die Temperaturgleichmäßigkeit der Wafer von Kontaktfläche zu Kontaktfläche. |
Torlon-Zaunbaugruppen Verwenden Sie hochverschleißfestes Torlon, um die Lebensdauer von Führungsleisten und Scheiben deutlich zu verlängern, das Abplatzen von Wafern erheblich zu verringern, die Rillenbildung an den Führungsleisten zu reduzieren und die Metallverunreinigung zu senken. |
 Verbessertes Zaunkonzept DiePräzision Lagerführung Coherent bietet eine längere Lebensdauer, verhindert einen asymmetrischen Verschleiß der Führung und beseitigt die Partikelfalle, die bei OEM-Komponenten mit gepressten Verbindungsstellen auftritt. |
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Verlängern Sie die Lebensdauer Ihrer Ionenimplantationswerkzeuge
Auch wenn Halbleiter immer weiter voranschreitet, sind ältere Batch-Ionenimplantationsanlagen in vielen Fertigungsstätten nach wie vor unverzichtbar – und ihre Leistungsfähigkeit hängt von einer entscheidenden Komponente ab: der Ionenimplantationsscheibe.
Diese Scheiben erfordern eine präzise, regelmäßige Aufarbeitung, um die Qualität der Wafer und die Zuverlässigkeit der Anlagen zu gewährleisten. Mit über 25 Jahren Erfahrung Coherent branchenführende Aufarbeitungsdienstleistungen Coherent – unterstützt durch zwei nach ISO 9001 zertifizierte Reinraumanlagen in den USA und Taiwan.
Von gründlichen Inspektionen und hochmodernen Silikonbeschichtungen bis hin zu Elastomer-Upgrades und Präzision Auswuchten Präzision – unser Verfahren bringt Ihre Scheiben wieder auf Höchstleistung, erhöht die Betriebszeit, verringert Verunreinigungen und schützt Ihre Investition.
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