Ionenimplantation
Dienstleistungen im Bereich Ionenimplantation
Verlassen Sie sich auf Coherent Full-Service-Partner, um Ihre Anforderungen im Bereich der Ionenimplantation zu erfüllen. Wir bieten zuverlässige Unterstützung für jedes Volumen und jede Anwendung und ermöglichen es Ihnen, Nachfragespitzen zu bewältigen.
Die erstklassigen Ionenimplantations-Foundries von Coherent alle Arten von Implantationsanforderungen erfüllen: von der Serienfertigung auf 300-mm-Wafern bis hin zu Forschung und Entwicklung für kleinere Wafergrößen und Chips sowie beheizte Implantationen auf Verbindungshalbleitersubstraten.
Schlüsselkompetenzen
- Implantationsverfahren zur Verringerung der Verkrümmung von Wafern, die durch das Spaltverfahren hergestellt werden (JA Turcaud, D Lee, D Jamesman, G Lucchesi, B Chan, US-Patentanmeldung 18/982,737)
- Polarisator, Beugung und Herstellung von Metasoberflächen mittels Ionenimplantation (G. Barbarossa, R. Chebi, R. Sonnendaram, J. Turcaud, C. Greiner, US-Patentanmeldung 18/607,870)
- Systeme und Verfahren zur Erzeugung von Aluminium-Ionenstrahlen (A. Hassan, R. Pong, J. Turcaud, J. Schuur, US-Patentanmeldung 18/426,555)
Unübertroffene Erfahrung Mit seinem in der Branche äußerst erfahrenen Anwendungsteam bietet Coherent schnellsten und kostengünstigsten Verfahren für die Ionenimplantation, um den Erfolg seiner Kunden zu optimieren:
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