Herstellung von Halbleiter
Entwickeln Sie Anlagen, die den Durchsatz und Ertrag maximieren, indem Sie modernste Optik, Laser und Verbundwerkstoffe einsetzen.
- Extreme Stability entwickelt Lithografie- und Wafer-Handling-Werkzeuge unter Verwendung thermisch innovativer Materialien.
- Steigern Sie den Ertrag Wählen Sie aus einer Reihe von Lasern, die praktisch jede Inspektionsaufgabe ermöglichen.
- Zuverlässige EUV-Lithografie: Gewährleisten Sie Zuverlässigkeit und Langlebigkeit mitLaseroptik Diamantfenstern von höchster Qualität.
Leistung an jedem Knoten
Von hochmodernen 3-nm-Chips bis hin zu bewährten 100-nm-+-Prozessen: Setzen Sie auf Werkzeuge mit Coherent , Optik und fortschrittlichen Verbundwerkstoffen Coherent , um einen konsistenten, kosteneffizienten und zuverlässigen Betrieb zu gewährleisten. Unsere innovativen Werkstoffe – darunter Hybridkeramiken und Siliziumkarbide – ermöglichen die Herstellung mechanischer Komponenten, die den extremen Anforderungen der EUV-Lithografie gerecht werden, ebenso wie unsere Laseroptik Diamantfenster. Darüber hinaus eignet sich unser umfassendes Lasersortiment für nahezu jede Inspektionsaufgabe und für vielfältige Materialbearbeitungsaufgaben wie Markieren und Tempern.
Fangen wir an
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Produktanwendungen
