Werkstoffe
Metallmatrix-Komposite
Verbessern Sie die thermische Stabilität von Halbleiterfertigungsanlagen mit Werkstoffen, die eine einzigartige Kombination aus hoher spezifischer Steifigkeit und hoher thermischer Stabilität bieten.
Die COGENTUM-Metallmatrixtechnologie von Coherent Entwicklern eine unvergleichliche Flexibilität, um die Leistung von Halbleiteranlagen zu verbessern und die Herausforderungen der fortschrittlichen Fertigungs- und Verpackungstechnologien für integrierte Schaltungen zu meistern.
COGENTUM – Eigenschaften
Wählen Sie aus einer Reihe von Verbundwerkstoffen, die in Strukturen mit einer Größe von über 2 x 2 Metern gegossen werden können.
Materialbeschaffenheit |
CONGENTUM® Grün |
CONGENTUM® Blau |
CONGENTUM® Gold |
Dichte (g/cm³) [ρ] |
2.78 |
2.80 |
2.96 |
Querkontraktionszahl |
0.29 |
0.29 |
0.25 |
Youngscher Modul – GPa [E] |
125 |
143 |
200 |
CTE im Durchschnitt 20–100 °C (ppm/K) [α] |
15 |
12 |
11 |
Wärmeleitfähigkeit (W/m·K) [k] |
160 |
164 |
160 |
Spezifische Wärme (J/kg·K) |
820 |
800 |
730 |
Maximale Zugfestigkeit (MPa) |
370 |
320 |
340 |
Bruchzähigkeit (MPa·m¹/²) |
15 |
13 |
13 |
Dämpfungsfaktor (% Zeta) |
0.26 |
0.26 |
0.58 |
Spezifische Steifigkeit (E/ρ) |
45 |
51 |
68 |
Thermische Stabilität (k/α) |
11 |
14 |
14 |