Excimerlaser
Nutzen Sie die Vorteile hochenergetischer UV-Impulse für die Mikroelektronik, Displays, wissenschaftliche Forschung, Medizin und Dünnschichtbearbeitung.
- Bearbeitung großer Flächen: Bearbeiten Sie die Probenoberfläche mit homogenen, großflächigen Zylinderstrahlen.
- Skalierbare UV-Leistung Passen Sie die Leistungsstufe von der Vorproduktion bis zur Großserienfertigung an.
- Höchste Präzision: Selektiver Einsatz von Laserenergie bei der Niedertemperatur-Dünnschichtbearbeitung.
Das breiteste Angebot an Excimerlasern
Wir verfügen über 50 Jahre Erfahrung mit Excimerlasern und wissen, dass Sie die besten Ergebnisse mit einem Excimerlaser erzielen, der auf Ihre Anwendung abgestimmt ist. Aus diesem Grund bieten wir die größte Auswahl an Laserleistungen und Energieoptionen, alle von höchster Qualität und Leistung.
ExciStar
ExciStar sind für anspruchsvolle Anwendungen wie die Hornhautabtragung, die Beschriftung von Korrektionsgläsern und die Herstellung optischer Sensoren konzipiert.
- Hohe Wiederholfrequenz – bis zu 1 kHz.
- Arbeitsplatte – 650 x 300 mm Stellfläche.
- 193 nm oder 248 nm – Präzise Beschriftung und Ablation.
IndyStar
Die Laser der IndyStar sind robuste UV-Excimer-Laser mit hoher Einschaltdauer, die für schnelle Impulsanwendungen wie das Bohren von Tintenstrahldüsen, die Messtechnik und optische Prüfungen entwickelt wurden.
- Hohe Pulsfrequenz – bis zu 2 kHz in Anwendungen, die rund um die Uhr laufen.
- Halbleiteranwendungen – Semi-S2-kompatibel.
- 193 nm und 248 nm – Lithografieentwicklung, Masken- und Optikprüfung, Mikromaterialbearbeitung.
COMPex
COMPex liefern Hunderte von Millijoule Pulsenergie mit hoher Puls-zu-Puls-Stabilität und hervorragender Strahlgleichmäßigkeit für anspruchsvolle Anwendungen.
- Hohe Energie – Hunderte von Millijoule.
- Wellenlängenauswahl – 193 nm, 248 nm, 308 nm, 351 nm.
- Unterstützt die Dünnschichtbearbeitung – Waferbearbeitung, Abscheidung mit gepulsten Lasern.
LEAP
LEAP ermöglichen eine hochenergetische, hochpräzise Bearbeitung dank unserer Kombination aus hoher Einschaltdauer, Zuverlässigkeit und niedrigen Betriebskosten.
- Große Auswahl an Leistungsstufen – Die gleiche Plattform unterstützt die Serienfertigung, die Vorproduktion und die Entwicklung mit bis zu 600 Watt.
- Pulse-on-Demand – Passen Sie das Impulsmuster an Ihren Prozessablauf an, um die Betriebskosten zu minimieren.
- Vielseitig – Wählen Sie zwischen Modellen mit 193 nm, 248 nm und 308 nm für die Abscheidung mit gepulsten Lasern, die Mikrostrukturierung oder die Displaybearbeitung.
LAMBDA SX
LAMBDA SX industrielle UV-Excimer-Laser für den Produktionsbereich mit stabilen Hochenergieimpulsen, die eine großflächige UV-Bearbeitung mit hoher Strahlstabilität ermöglichen.
- Hohe Leistung – bis zu 600 Watt.
- Hohe Pulsenergie – bis zu 1000 mJ.
- Hohe Taktfrequenz – Dreischicht-Massenproduktion mit bis zu 600 Hz.
VYPER
VYPER-UV-Excimer-Laserplattformen VYPER bis zu mehreren Kilowatt ermöglichen den höchsten Durchsatz für die Massenproduktion von Displays.
- Sehr hohe Leistung – bis zu 3600 Watt.
- Sehr hohe Pulsenergie – bis zu 6 Joule pro Puls.
- Unübertroffene Energiestabilität – Unterstützt die Verarbeitung von OLED- und MicroLED-Backplanes.
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Eine Innovation bei der Herstellung von MicroLED-Bildschirmen
Die neuen UV-Transfer-Systeme von Coherent die MicroLED-Fertigung durch Laser-Lift-Off (LLO), laserinduzierte Vorwärtsübertragung (LIFT) sowie Reparatur- und Trimmvorgänge.
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