Excimer-Laser
Hochenergetische UV-Impulse können in der Mikroelektronik, bei Displays, in der naturwissenschaftlichen Forschung, in der Medizin sowie bei der Dünnschichtbearbeitung eingesetzt werden.
- Bearbeitung großer Flächen: Die Probenoberfläche wird mit einem gleichmäßigen, großflächigen Flattop-Strahl abgedeckt.
- Einstellbare UV-Leistung – Von Prototypen bis zur Serienfertigung: Wir bieten die passende Leistungsstufe für jeden Bedarf.
- Hervorragende Präzision: Durch die Dünnschichtbearbeitung bei niedrigen Temperaturen lässt sich die Laserenergie gezielt einbringen.
Umfangreiches Portfolio an Excimer-Lasern
Aufgrund unserer 50-jährigen Erfahrung mit Excimer-Lasern sind wir davon überzeugt, dass unsere Kunden die besten Ergebnisse erzielen, wenn sie einen Excimer-Laser einsetzen, der genau auf ihre Anwendung zugeschnitten ist. Aus diesem Grund bieten wir eine breite Palette an Lasern mit unterschiedlichen Ausgangsleistungen und Energien an, die sich durch hervorragende Qualität und Leistung auszeichnen.
ExciStar
Der Tisch-UV-Excimer-Laser von ExciStar wurde für präzise Anwendungen wie Hornhautabtragung, Markierung von Korrekturlinsen und die Herstellung optischer Sensoren entwickelt.
- Hohe Wiederholfrequenz: maximal 1 kHz.
- Tischmodell: Kompaktes Design mit den Maßen 650 x 300 mm.
- 193 nm oder 248 nm: Hochpräzise Markierung und Abtragung.
IndyStar
Der IndyStar-Laser ist ein robuster UV-Excimer-Laser mit hoher Einschaltdauer, der speziell für Anwendungen entwickelt wurde, die Hochgeschwindigkeitsimpulse erfordern, wie beispielsweise das Bohren von Tintenstrahldüsen, Messungen und optische Prüfungen.
- Hohe Impulsfrequenz: Für Anwendungen, die einen Betrieb rund um die Uhr erfordern, wird eine Impulsfrequenz von bis zu 2 kHz erreicht.
- Ideal für Halbleiteranwendungen: Entspricht dem Semi-S2-Standard.
- 193-nm-Modell und 248-nm-Modell: Lithografieentwicklung, Masken, Testen von optischen Systemen, Mikrofabrikation.
COMPex
COMPex bietet für anspruchsvolle Anwendungen eine Pulsenergie im Bereich von mehreren hundert mJ bei hoher Stabilität zwischen den Impulsen und hervorragender Strahlgleichmäßigkeit.
- Hohe Energie: mehrere hundert mJ.
- Verfügbare Wellenlängen: 193 nm, 248 nm, 308 nm, 351 nm.
- Geeignet für die Dünnschichtbearbeitung: Waferbearbeitung und Pulslaser-Abscheidung (PLD).
LEAP
Der LEAP vereint nicht nur eine hochenergetische und hochpräzise Bearbeitung, sondern erfüllt zudem alle Anforderungen hinsichtlich hoher Ausgangsleistung bei hohem Einschaltverhältnis, hoher Zuverlässigkeit und niedrigen Betriebskosten.
- Breites Leistungsspektrum – Auf derselben Plattform werden Serienfertigung, Vorproduktion und Entwicklung mit bis zu 600 Watt unterstützt.
- Puls-on-Demand-Funktion: Durch die Anpassung des Pulsmusters an den Bearbeitungsablauf lassen sich die Betriebskosten auf ein Minimum reduzieren.
- Vielseitigkeit: Zur Auswahl stehen Modelle mit Wellenlängen von 193 nm, 248 nm und 308 nm, die sich für die Pulslaserabscheidung (PLD), die Mikrostrukturierung und die Bearbeitung von Displays eignen.
LAMBDA SX
Der LAMBDA SX ist ein industrieller UV-Excimer-Laser für den Einsatz in der Fertigung. Dank seiner stabilen, hochenergetischen Impulse eignet er sich mit seinem gleichmäßigen Strahl für die UV-Bearbeitung großer Flächen.
- Hohe Leistung: bis zu 600 Watt.
- Hohe Impulsenergie: bis zu 1000 mJ.
- Hohe Impulsrate: Massenproduktion mit drei Schichten bei bis zu 600 Hz.
VYPER
Die UV-Excimer-Laserplattform von VYPER mit einer Leistung von 1 bis mehreren kW ermöglicht den extrem hohen Durchsatz, der für die Massenproduktion von Displays erforderlich ist.
- Extrem hohe Leistung: bis zu 3600 Watt.
- Eine extrem hohe Pulsenergie von bis zu 6 Joule pro Puls.
- Unübertroffene Energieeffizienz: Geeignet für die Verarbeitung von OLED- und MicroLED-Backplanes.
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