Eine Innovation bei der Herstellung von MicroLED-Bildschirmen
Erfahren Sie, wie das neue integrierte UV-Transfer-Lasersystem von Coherent drei wichtigen Prozesse bei der MicroLED-Fertigung durchführt – LLO, LIFT und Reparatur/Trimmung.
2. Juli 2021 von Coherent
Das neue UVtransfer-System von Coherent ein integriertes Lasersystem, das die drei entscheidenden Prozesse bei der Herstellung von MicroLEDs durchführt – Laser-Schichtseparation (LLO), laserinduzierte Vorwärtsübertragung (LIFT) sowie Reparatur und Trimmung.UVtransfer unterstützt Forschung und Entwicklung sowie die Herstellung von Pilotanlagen und basiert auf derselben hochenergetischen Excimer-Lasertechnologie, die sich seit langem in der Großserienproduktion von Displays für das LTPS-Backplane-Annealing bewährt hat.
MicroLEDs (μLEDs) bieten eine vielversprechende Möglichkeit, die Kosten für sehr großflächige Displays sowie für einige kleinflächige Displays zu senken. Die Herstellung großer Displays aus μLEDs steht bislang vor mehreren Herausforderungen. Dies liegt an der wirklich enormen Anzahl und der geringen Größe der aktiven Pixelelemente, die präzise vom Zuchtwafer auf das endgültige Glassubstrat übertragen werden müssen.
Diese Herausforderungen werden durch den engen Pitch und die geringen Abstände auf dem Zuchtwafer noch erheblich verschärft, womit die Prozessauslastung gesteigert und die Kosten für die Pixelelemente gesenkt werden sollen. Es wird zudem erwartet, dass die Größe der Pixelelemente in Zukunft noch weiter schrumpfen wird – von 50 µm auf 5 µm. Daher müssen die Herstellungsverfahren leicht an diese geringeren Abmessungen anpassbar sein.
Sehen Sie sich ein Video an, in dem gezeigt wird, wie dasUV-Transfer-System die Herausforderungen bei der Herstellung von MicroLED-Displays meistert.
UVtransfer ist ein einzigartiges System, das nun alle drei entscheidenden Fertigungsschritte abdeckt. Es basiert auf der leistungsstarken Excimer-Lasertechnologie von Coherent deckt daher Flächen von bis zu 16 x 2mm² pro Schuss ab, was eine massive Parallelbearbeitung der Geräte ermöglicht. Dies ist entscheidend, um Hunderte von Millionen von Chips für große Displays zu produzieren und diese Displays wirtschaftlich rentabel zu machen.
Auch dasUV-Transfer-System ist vollständig kompatibel mit dem unvermeidlichen Trend zu kleineren Pixelelementen. Dadurch wird das Investitionsrisiko, das häufig mit neuen Fertigungstechnologien verbunden ist, beseitigt.
Laden Sie ein Whitepaper herunter und erfahren Sie, warumUVtransfer bereits heutedie zukunftssichere Lösung ist.
Displayhersteller, die sich für das UV-Transfer-System entscheiden, können sich auf das Support-Team von Coherent verlassen, Coherent lokale Anwendungslabore, MicroLED-Prozessexperten sowie lokale Service- und Vertriebsteams Coherent , die alle von der ersten Interessensbekundung bis hin zur erfolgreich funktionierenden Lösung eng mit den Kunden zusammenarbeiten.