Innovationen bei der Herstellung von MicroLED-Displays
Erfahren Sie, wie das neue integrierte UVtransfer-Lasersystem von Coherent die drei wichtigsten Prozesse der MicroLED-Fertigung – LLO, LIFT sowie Reparatur und Trimmen – durchführt.
2. Juli 2021, Coherent
Dasneue UVtransferist ein integriertes Lasersystem, das die drei Kernprozesse der MicroLED-Herstellung – LLO (Laser Lift-Off), LIFT (Laser-Induced Forward Transfer) sowie Reparatur und Trimmen – ausführt.Das UVtransferunterstützt die Forschung und Entwicklung sowie die Fertigung in Pilotlinien und basiert auf derseit langem in der Massenproduktion von Displaysfür das Tempern von LTPS-Backplanes bewährten Hochenergie -Excimer-Lasertechnologie.
MicroLED (μLED) bieten die Möglichkeit, die Kosten für großflächige Displays und bestimmte Anwendungen mit kleiner Fläche potenziell zu senken. Bislang gab es bei der Herstellung großer Displays mit μLED einige Probleme, die gelöst werden mussten. Der Grund dafür ist, dass eine sehr große Anzahl kleiner aktiver Chips präzise vom Wachstumswafer auf das endgültige Glassubstrat übertragen werden muss.
Diese Probleme verschärfen sich aufgrund der engen Abstände und der geringen Pitch-Größen, die bei den Wachstumssubstraten zum Einsatz kommen, um die Prozessauslastung zu steigern und die Chipkosten zu senken. Zudem wird erwartet, dass die Chipgröße künftig von 50 µm auf 5 µm weiter schrumpfen wird. Daher müssen die Fertigungsverfahren problemlos auf diese kleineren Abmessungen skalierbar sein.
In diesem Videowird erläutert, wie dasUVtransfer-System die Herausforderungen bei der Herstellung von MicroLED-Displays bewältigt.
UVtransferist ein einzigartiges System, das derzeit alle drei wichtigen Fertigungsschritte abdeckt. Da es auf der leistungsstarken Excimer-Lasertechnologie von Coherent basiert, deckt es pro Schuss eine Flächevonbis zu16 x 2 mm²ab und unterstützt die parallele Bearbeitung großer Stückzahlen. Dies ist entscheidend, um Hunderte Millionen von Chips für große Displays zu produzieren und diese Displays wirtschaftlich rentabel zu machen.
Zudem istdas UVtransfer-System perfekt auf den unvermeidlichen Trend zu kleineren Chipgrößen abgestimmt und beseitigt damit die Investitionsrisiken, die bei neuen Fertigungstechnologien häufig auftreten.
Laden Sie jetzt das Whitepaper herunterund erfahren Sie, warumUVtransfereine zukunftsorientierte Lösung ist, die schon heute einsatzbereit ist.
Display-Hersteller, die sich für das UVtransfer-System entscheiden, können sich auf das weltweite Support-Team von Coherent verlassen, das aus lokalen Anwendungslabors, MicroLED-Prozessexperten sowie lokalen Service- und Vertriebsteams besteht und von der ersten Kontaktaufnahme bis hin zur erfolgreichen Implementierung eng mit den Kunden zusammenarbeitet.