Innovationen bei der Herstellung von MicroLED-Displays
Erfahren Sie, wie das neue integrierte UV-Transfer-Lasersystem von Coherent die drei wichtigsten Bearbeitungsverfahren in der MicroLED-Fertigung – LLO, LIFT sowie Reparatur und Trimmen – ausführt.
2. Juli 2021,Coherent
UVtransferist ein integriertes Lasersystem, das drei wichtige Verarbeitungsprozesse in der MicroLED-Fertigung ausführt: Laser-Lift-Off (LLO), Laser-Induced Forward Transfer (LIFT) sowie Reparatur und Trimmen.UVtransferunterstützt Forschung und Entwicklung sowie die Fertigung in Pilotanlagen undbasiert auf derselben hochenergetischen Excimer-Lasertechnologie, die sich seit Jahrenin der Massenfertigung von Displays fürdas Laser-Annealing von LTPS-Backplanes bewährt hat.
MicroLED (μLED) bieten interessante Möglichkeiten und könnten die Kosten für Displays mit sehr großer Fläche sowie für bestimmte Anwendungen mit kleiner Fläche senken. Bislang gibt es jedoch einige Herausforderungen bei der Herstellung großer Displays aus μLED. Dies liegt daran, dass eine sehr große Anzahl von aktiven Chips, die zudem sehr klein sind, präzise vom Wachstumswafer auf das endgültige Glassubstrat übertragen werden muss.
Diese Herausforderungen werden durch die bei Wachstumswafern verwendeten engen Abstände und schmalen Leiterbahnen noch verschärft, was darauf abzielt, die Auslastung der Fertigungsverfahren zu erhöhen und die Kosten pro Chip zu senken. Zudem wird erwartet, dass die Chipgröße in Zukunft weiter von 50 µm auf 5 µm schrumpfen wird. Daher müssen die Fertigungsverfahren problemlos auf diese kleinen Abmessungen skalierbar sein.
Sehen Sie sich das Video an, in dem erläutert wird, wiedas UV-Transfer-Systemdie Herausforderungen bei der Herstellung von MicroLED-Displays löst.
UVtransferist ein derzeit einzigartiges System, das alle drei wichtigen Fertigungsschritte abdeckt. Da es auf der leistungsstarken Excimer-Lasertechnologie von Coherent basiert, deckt es pro Schusseine Fläche von16 x 2mm²ab und ermöglicht so die parallele Bearbeitung einer großen Anzahl von Bauelementen. Dies ist entscheidend, um Hunderte Millionen von Chips für große Displays zu produzieren und diese Displays wirtschaftlich rentabel zu machen.
Dadas UV-Transfer-Systemzudem vollständig mit dem unvermeidlichen Trend zu immer kleineren Druckformaten kompatibel ist, werden die Investitionsrisiken vermieden, die bei neuen Fertigungstechnologien häufig auftreten.
Laden Sie das Whitepaper jetzt herunterund erfahren Sie, warumUVtransfereine zukunftsweisende Lösung ist, die bereits heute einsatzbereit ist.
Displayhersteller, die sich für das UVtransfer-System entscheiden, können sich auf das weltweite Support-Team von Coherent verlassen, das sich aus regionalen Anwendungslabors, Experten für MicroLED-Verarbeitungsverfahren, regionalen Serviceteams und regionalen Vertriebsteams zusammensetzt. All diese Teams arbeiten eng mit den Kunden zusammen – von der ersten Anfrage bis hin zur erfolgreichen Lösung.
