Lasermaschinen und -systeme
LineBeam
LineBeam-Systeme sind die grundlegende optische Technologie für die Massenfertigung von LTPS-Backplanes auf großen Substratplatten mit höchster Ausbeute.
Liefert Strahlprofile mit einer Länge von bis zu 1500 mm für Panelgrößen bis Gen 10.5. Bietet Strahlhomogenität entlang der kurzen und langen Achse für maximalen Durchsatz und optimale Strahlausnutzung. Hervorragende Pulsstabilität und hohe Tiefenschärfe gewährleisten ein großes Prozessfenster.
LineBeam – Einige wichtige Leistungskennzahlen
Profitieren Sie vom Zylinderhut-Strahlprofil von LineBeam, das sowohl in der kurzen als auch in der langen Achse eine hervorragende Homogenität bietet – und das bei einer kurzen Wellenlänge 308 nm oder 355 nm.
Produktspezifikationen
Parameter |
Werte |
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Leitungslänge (mm) |
750 |
1000 |
1300 |
1500 |
Strahlprofiltyp |
Zylinder an beiden Achsen |
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Schärfentiefe (µm) |
±150 |
±120 |
±120 |
±120 |
Homogenität entlang der Längsachse (%) |
0,6 (2σ) |
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Homogenität in der Kurzachse (%) |
0,8 (2σ) |
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