Lasermaschinen und Systeme
LineBeam
LineBeam-Systeme sind die optische Schlüsseltechnologie für die Massenfertigung von LTPS-Backplanes auf großen Substratplatten mit höchster Ausbeute.
Liefern Sie Trägerprofile mit einer Länge von bis zu 1500 mm für Plattengrößen bis zur Generation 10.5. Bieten Sie Strahlhomogenität in Kurz- und Längsrichtung für maximalen Durchsatz und optimale Strahlausnutzung. Hervorragende Pulsstabilität und hohe Tiefenschärfe, um ein großes Prozessfenster zu gewährleisten
LineBeam – Wichtige Leistungskennzahlen
Profitieren Sie vom rechteckigen („Top-Hat“) Strahlprofil der LineBeam-Systeme mit hervorragender Homogenität in der kurzen und langen Achse – und das bei einer kurzen Wellenlänge von 308 nm oder 355 nm.
Produktspezifikationen
Parameter |
Werte |
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Länge (mm) |
750 |
1000 |
1300 |
1500 |
Strahlprofiltyp |
Zylinder entlang beider Achsen |
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Tiefenschärfe (µm) |
±150 |
±120 |
±120 |
±120 |
Homogenität der Längsachse (%) |
0,6 (2 σ) |
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Achsenhomogenität kurze Achse (%) |
0,8 (2 σ) |
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