Lasermaschinen und -systeme
LineBeam
Das LineBeam-System ist eine optische Technologie, die zur Massenproduktion von LTPS-Backplanes auf großformatigen Substratplatten mit höchster Ausbeute eingesetzt wird.
Für Panelgrößen bis zu Gen 10.5 werden Linienstrahlprofile mit einer Länge von bis zu 1500 mm angeboten. Sie zeichnen sich durch eine gleichmäßige Strahlverteilung sowohl in Quer- als auch in Längsrichtung aus, um einen maximalen Durchsatz und eine optimale Strahlausnutzung zu gewährleisten. Hervorragende Impulsstabilität und eine hohe Tiefenschärfe gewährleisten ein großes Prozessfenster.
LineBeam – Einige wichtige Leistungskennzahlen
Profitieren Sie von den Vorteilen des Top-Hat-Strahlprofils von LineBeam, das bei einer Wellenlänge von 308 nm sowohl auf der kurzen als auch auf der langen Achse eine hervorragende Homogenität bietet.
Produktspezifikationen
Parameter |
Wert |
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Länge der Linie (mm) |
750 |
1000 |
1300 |
1500 |
Strahlprofiltypen |
Profil der Oberseite der Kappe an beiden Achsen |
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Tiefenschärfe (µm) |
±150 |
±120 |
±120 |
±120 |
Homogenität in Längsrichtung (%) |
0,6(2σ) |
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Kurzfaser-Homogenität (%) |
0,8(2σ) |
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