Lasermaschinen und -systeme

UV-Transfer

UVtransfer-Lasersysteme unterstützen spezielle Anwendungen bei der Herstellung von Micro-LED-Displays der nächsten Generation.

Das UVtransfer 3-in-1-System für die Prozessentwicklung und den Einsatz in Pilotanlagen führt Laser Lift-Off (LLO), Laser-Induced Forward Transfer (LIFT) sowie Pixelreparatur und -trimming mit sehr hoher Flexibilität durch. Das UVtransfer-System ist ein vollautomatisches LIFT-Werkzeug mit höchstem Durchsatz und höchster Ausbeute, das die Produktion von microLED-Displays auf industriellen Maßstab bringt. Das UVtransfer R-System ist die professionelle Komplettlösung, um Entfernungs- und Wiederauffüllungsprozesse außerordentlich schnell und effizient durchzuführen. 

UVtransfer – Überblick

Die Hochleistungssysteme bieten unübertroffene Präzision werden von einem leistungsstarken 248-nm-UV-Laser angetrieben, der bei großen Bearbeitungsfeldern einen hohen Durchsatz ermöglicht. 

 

 

Hauptmerkmal Vorteil UVtransfer​
3-in-1-System​
- Werkzeug für Forschung und Entwicklung sowie Technologie-Enabler​
UVtransfer​

- LIFT-Tool für die Serienfertigung​
UVtransfer R​

- Reparaturwerkzeug für die Serienfertigung​

Vollautomatisierung und Nutzung rund um die Uhr

Großserienfertigung im industriellen Maßstab

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Multifunktionalität

Untersuchen, optimieren und validieren Sie drei Prozesse mit einer einzigen Investition

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Große Feldgrößen und fortschrittliches Bühnenkonzept

Hoher Durchsatz und hervorragende Systemeffizienz

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Unterstützt alle Chipgrößen von 50 bis hinunter zu 5 µm

Zukunftssichere Technologie.

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Bewährte Excimerlaser

Beseitigt technische Risiken.

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(COMpex )​

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(LEAP )​

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(IndyStar )​

Tiefes UV

Mit fast allen Materialien kompatibel.

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Fabrikintegration

Vollständige Systemsteuerung über das Werksnetzwerk, bereit für Industrie 4.0

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Integrierte Diagnose

Hohe Prozessstabilität und Zuverlässigkeit ​

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Innovationen in der Herstellung von MicroLED-Displays

Die neuen UVtransfer-Systeme Coherent revolutionieren die MicroLED-Fertigung durch Laser-Lift-Off (LLO), Laser-Induced Forward Transfer (LIFT) sowie Reparatur- und Trimmfunktionen.

MicroLED-Bild