Lasermaschinen und -systeme
Excimer Strahlführungsoptik
Hochwertige Optik, abgestimmt auf die einzigartige Kombination aus hoher Pulsenergie, kurzen UV-Wellenlängen und hoher Leistung.
Viele Anwendungen für Excimer-Laser erfordern eine Strahlführungsoptik – zum Ausrichten, Homogenisieren und/oder Abschwächen des Strahls. Coherent eine einzigartige Kombination aus Erfahrung und technischem Know-how, um optomechanische Lösungen für diese Herausforderung zu entwickeln.
Excimer Strahlführungsoptik Überblick
Vereinfachen Sie Ihre Excimerlaser mit standardmäßigen und maßgeschneiderten Strahlführungsoptik optomechanischen Modulen.
Produktspezifikationen
Produkttyp |
Wichtigste Merkmale |
Dämpfungsglieder |
Der variable Dämpfungsregler verfügt über eine Kompensationsplatte zur Beseitigung des Strahlabfalls |
Homogenisatoren |
Generates 5x5 mm or 10x10 mm uniform field with <± 5% variation |
Projektionsobjektive |
5-fache oder stufenlose Vergrößerung von 4–10-fach, höhere Werte auf Anfrage |
