UV-Lasersysteme
Nutzen Sie die Vorteile unserer einzigartigen Hochenergie-UV-Laser mit kompletten optischen Systemen, die für LTPS, LLO, LIFT, PLD, LA-ICP-MS und weitere Anwendungen konfiguriert sind.
- Vertikale Integration Vermeiden Sie Risiken und profitieren Sie vom Rund-um-die-Uhr-Betrieb mit unseren langlebigen Lasern, Optiken und Mechaniken.
- Bewährte Industriewerkzeuge – Vertrauen Sie auf dieselbe Basistechnologie, die leistungsstarke mobile Displays hervorbringt.
- UV-Wellenlängenoptionen: Wählen Sie zwischen Systemen mit 193, 248 und 308 nm sowie kundenspezifischen Optionen mit 157 oder 351 nm.
Unser Know-how im Bereich des UV-Laserverfahrens
Mit 50 Jahren Erfahrung im Bereich UV-Laser und optische Systeme kennen wir die Herausforderungen beim Einsatz, der Formung und der Fokussierung von Excimer-Strahlen. Dank vertikaler Integration entwickeln, fertigen und montieren wir komplette Systeme nach höchsten Standards.
UV-Transfer
UV-Transfer-Laser unterstützen spezielle Anwendungen bei der Herstellung von Micro-LED-Displays der nächsten Generation.
- Hoher Durchsatz – Der Hochenergie-Excimer-Laser ermöglicht große Feldgrößen.
- Zukunftssicher – Bewältigt Partikelgrößen von 50 bis 5 µm.
- Drei schlüsselfertige Lösungen für Prozesse von der Forschung und Entwicklung bis hin zur Massenproduktion.
LineBeam
LineBeam-UV-Lasersysteme ermöglichen die Massenfertigung von Niedertemperatur-Polysilizium (LTPS)-Backplanes auf großen Substratplatten mit höchster Ausbeute.
- Langer Linienstrahl – bis zu 1500 mm.
- Hohe Homogenität – 0,6 % (2σ).
- Große Brennweite – bis zu ±150 µm.
UVblade
UVblade-Excimer-Laser bieten eine kostengünstige Lösung für LLO mit hoher optischer Effizienz und großer Skalierbarkeit hinsichtlich Wellenlängen und Energiedichte.
- Hohe Homogenität – 1,8 %
- Große Brennweite – bis zu ±200 µm.
- Hohe Pulsenergie – bis zu 2000 mJ.
Excimer Strahlführungsoptik
Holen Sie sich erstklassige optomechanische Werkzeuge für eine optimierte Excimer-Strahlabgabe Für die einzigartige Kombination aus hoher Pulsenergie, kurzen UV-Wellenlängen und hoher Leistung.
- Homogenisieren eines Strahls – <± 5 % Fluenzschwankung.
- Variable Dämpfung – Präzise Energiesteuerung.
- Maskenbildprojektion – 4- bis 10-fache Verkleinerung.
VarioLas
VarioLas-Excimer-UV-Laser basieren auf dem leistungsstarken COMPex für die hochwertige UV-Mikromaterialbearbeitung mit Linienstrahl oder quadratischer Strahlfeldform.
- Hohe Energiedichte – bis zu 7,5 J/cm².
- Vielseitig und verstellbar – Rund- oder Vierkantprofil.
- Hohe optische Auflösung – ≥ 5 µm.
GeoLasGC
Die GeoLasGC-Excimer-UV-Systeme kombinieren 193-nm-Impulse, ein leistungsstarkes Polarisationsmikroskop und HD-Kameraüberwachung für die Laserablation mittels ICP-MS.
- Hohe optische Auflösung – 1 µm.
- Variabler Probenfleck – 2–160 µm.
- Hohe Pulsstabilität – 1 % (Effektivwert).
Ausgewählter Blog
Was sind MicroLED-Displays?
MicroLEDs (µLEDs) sind eine relativ neue Technologie, die brillante, hochauflösende Displays ermöglicht. In den nächsten fünf Jahren wird der Markt für µLED-Displays auf mehr als 10 Milliarden US-Dollar anwachsen – und Laser spielen bei ihrer Herstellung eine entscheidende Rolle.
Sind Sie bereit, loszulegen?
Teilen Sie uns Ihre Kontaktdaten mit, und ein Spezialist wird sich mit Ihnen in Verbindung setzen.