Lasermaschinen und -systeme
Optik für die Übertragung von Excimer-Strahlen
Hochwertige Optik, die auf die einzigartige Kombination aus hoher Pulsenergie, kurzen UV-Wellenlängen und hoher Leistung abgestimmt ist.
Für viele Anwendungen von Excimer-Lasern ist eine Übertragungsoptik zur Strahlführung, -gleichmäßigung und -dämpfung erforderlich. Coherent bewältigt diese Herausforderung mit optomechanischen Werkzeugen, die auf der Grundlage herausragender Erfahrung und technischer Kompetenz entwickelt wurden.
Optik für die Übertragung von Excimer-Strahlen – Überblick
Mit Standard- und kundenspezifischen Strahlführungsoptiken sowie optomechanischen Modulen vereinfachen wir den Einsatz von Excimer-Lasern.
Produktdaten
Produkttyp |
Wichtigste Funktionen |
Dämpfer |
Der variable Dämpfer enthält eine Korrekturplatte, um den Strahl-Walk-off zu beseitigen. |
Homogenisator |
Erzeugt ein homogenes Feld von 5 × 5 mm oder 10 × 10 mm (Abweichungen von maximal ±5 %) |
Projektionslinse |
5-fache Verkleinerung oder variable Verkleinerung von 4- bis 10-fach (je nach Bedarf den höheren Wert verwenden) |
