Lasermaschinen und -systeme
VarioLas
Systeme auf Basis des leistungsstarkenExcimerlaser flexible Werkzeuge für die hochwertige UV-Mikrobearbeitung mit einer Linien- oder quadratischen Strahlform.
Ein herausragendes optisches Design, eine robuste Mechanik und ein Excimer-Laser mit unübertroffener Puls-zu-Puls-Stabilität sorgen fürPräzision . Zu den Anwendungsbereichen zählen die Laser-Lift-Off-Trennung (LLO), die Aktivierung von Dotierionen, die ablative Strukturierung und das Tempern von Dünnschichten.
VarioLas – Einige wichtige Leistungskennzahlen
Erzielen Sie präzise Ablations- oder Materialmodifikationsergebnisse dank der hohen Energiedichte (bis zu 7,5 J/cm²) und der Pulswiederholfrequenz von 100 Hz des VarioLas.
Produktspezifikationen
Parameter |
VarioLas Eco |
VarioLas Pro |
VarioLas-Kehrmaschine |
Feldform |
Quadrat |
Quadrat |
Zeile |
Feldgröße (mm²) |
2 × 2 |
2 × 2 |
50 × 0,6 |
Optische Auflösung (µm) |
30 |
5 |
– |
