Lasermaschinen und -systeme
Optik zur Übertragung des Excimer-Strahls
Hochwertige optische Komponenten, die der einzigartigen Kombination aus hoher Pulsenergie, kurzen UV-Wellenlängen und hoher Leistung gerecht werden.
Viele Anwendungsbereiche des Excimer-Lasers erfordern eine Übertragungsoptik zur Projektion, Homogenisierung und/oder Dämpfung des Strahls. Coherent nutzt eine unvergleichliche Kombination aus Erfahrung und technischem Know-how, um optomechanische Werkzeuge für diese Aufgabe zu entwickeln.
Optik zur Übertragung des Excimer-Strahls – Überblick
Vereinfachen Sie Ihre Excimer-Laser-Anwendungen mit standardisierten und maßgeschneiderten Strahlführungsoptiken sowie optomechanischen Modulen.
Produktspezifikationen
Produkttyp |
Hauptmerkmale |
Dämpfer |
Der variable Dämpfer enthält eine Korrekturplatte zur Beseitigung des Strahlabfalls. |
Homogenisator |
<± 5% 변동으로 5x5mm 또는 10x10mm 균일 필드 생성 |
Projektionslinse |
Auf Wunsch 5-fache Vergrößerung oder stufenlose Vergrößerung von 4- bis 10-fach |
