UV-Lasersystem
Wir nutzen unseren eigens entwickelten Hochenergie-UV-Laser optimal in einem kompletten optischen System, das für LTPS, LLO, LIFT, PLD, LA-ICP-MS und andere Verfahren ausgelegt ist.
- Vertikale Integration: Dank langlebiger Laser, Optik und Konstruktion werden Risiken vermieden und ein Betrieb rund um die Uhr an 365 Tagen im Jahr gewährleistet.
- Bewährte Industriewerkzeuge, die auf derselben Technologie basieren wie leistungsstarke mobile Displays.
- Zur Auswahl stehen UV-Wellenlängenoptionen von 193 nm, 248 nm und 308 nm sowie kundenspezifische Optionen von 157 oder 351 nm.
Nutzen Sie unser Fachwissen im Bereich UV-Laserverfahren
Dank unserer 50-jährigen Erfahrung mit UV-Lasern und optischen Systemen sind wir bestens mit den Herausforderungen bei der Steuerung, Formung und Fokussierung von Excimer-Laserstrahlen vertraut. Durch die Nutzung vertikaler Integration entwerfen, fertigen und montieren wir komplette Systeme, die den strengsten Standards entsprechen.
UV-Transfer
Das UVtransfer-Lasersystem unterstützt spezielle Anwendungen bei der Herstellung von Micro-LED-Displays der nächsten Generation.
- Hoher Durchsatz – Unterstützung großer Feldgrößen durch Hochenergie-Excimer-Laser.
- Der Weg in die Zukunft – Bearbeitung von Chips mit einer Größe von 50 bis 5 µm.
- Drei schlüsselfertige Lösungen für den gesamten Prozess von der Forschung und Entwicklung bis zur Serienfertigung.
LineBeam
Mit dem LineBeam-Excimer-UV-Laser lassen sich große Mengen an LTPS-Backplanes (Low-Temperature-Polysilizium) auf großen Trägerplatten mit hoher Produktionsleistung herstellen.
- Lange Strahlführung – bis zu 1500 mm.
- Hohe Gleichmäßigkeit – 0,6 % (2σ).
- Große Schärfentiefe – maximal ±150 µm.
UVblade
Der UVblade-Excimer-Laser bietet LLO eine kosteneffiziente Lösung mit hoher Lichtausbeute und hervorragender Skalierbarkeit hinsichtlich Wellenlänge und Energiedichte.
- Hohe Gleichmäßigkeit – 1,8 %.
- Große Schärfentiefe – maximal ±200 µm.
- Hohe Pulsenergie – bis zu 2000 mJ.
Optik für die Übertragung von Excimer-Strahlen
Holen Sie sich ein erstklassiges optomechanisches Werkzeug für den Exzimer-Strahlengang, das speziell auf die einzigartige Kombination aus hoher Pulsenergie, kurzen UV-Wellenlängen und hoher Leistung optimiert ist.
- Strahlgleichmäßigkeit – Schwankungen der Strömung von höchstens 5 %.
- Variable Dämpfung – präzise Energiesteuerung.
- Maske für die Bildprojektion – Verkleinerungsfaktor 4–10-fach.
VarioLas
Der VarioLas-Excimer-UV-Laser basiert auf dem leistungsstarken COMPex-Excimer-Laser und ermöglicht eine hochwertige UV-Feinstbearbeitung mit Linien- oder Rechteckstrahl.
- Hohe Energiedichte – bis zu 7,5 (J/cm²).
- Vielseitig und anpassbar – mit geradem oder quadratischem Profil.
- Hohe optische Auflösung – ≥ 5 µm.
GeoLasGC
Das GeoLasGC-Excimer-UV-System kombiniert 193-nm-Impulse, ein hochleistungsfähiges Polarisationsmikroskop und die Beobachtung mittels HD-Kamera, um die Laserablation-ICP-MS zu ermöglichen.
- Hohe optische Auflösung – 1 µm.
- Mehrzweck-Probenfleck 2 – 160 µm.
- Hervorragende Impulsstabilität – 1 % (Effektivwert).
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