UV-Lasersysteme
Nutzen Sie die Vorteile unserer einzigartigen Hochenergie-UV-Laser mit kompletten optischen Systemen, die für LTPS, LLO, LIFT, PLD, LA-ICP-MS und weitere Anwendungen konfiguriert sind.
- Vertikale Integration: Vermeiden Sie Risiken und profitieren Sie von einem Betrieb rund um die Uhr dank unserer langlebigen Laser, Optiken und Mechaniken.
- Bewährte Industriewerkzeuge – basieren auf derselben Technologie, die auch hinter leistungsstarken mobilen Displays steht.
- Wellenlänge Wählen Sie zwischen Systemen mit 193, 248 und 308 nm sowie kundenspezifischen Optionen mit 157 oder 351 nm.
Unser Fachwissen im UV-Laserverfahren
Mit 50 Jahren Erfahrung im Bereich UV-Laser und optische Systeme kennen wir die Herausforderungen, die mit der Steuerung, Formung und Fokussierung von Excimer-Strahlen verbunden sind. Dank unserer vertikalen Integration entwickeln, fertigen und montieren wir Komplettsysteme nach höchsten Standards.
UV-Transfer
UVtransfer-Lasersysteme unterstützen spezielle Anwendungen bei der Herstellung von Micro-LED-Displays der nächsten Generation.
- Hoher Durchsatz – Excimerlaser Hochenergie Excimerlaser große Strahlungsflächen.
- Zukunftssicher – Für Matrizengrößen von 50 bis hinunter zu 5 µm geeignet.
- Drei schlüsselfertige Lösungen für Prozesse von der Forschung und Entwicklung bis zur Serienfertigung.
LineBeam
LineBeam-UV-Lasersysteme ermöglichen die Massenfertigung von LTPS-Backplanes (Low-Temperature Polysilicon) auf großen Substratplatten mit höchster Ausbeute.
- Langbalken – bis zu 1500 mm.
- Hohe Homogenität – 0,6 % (2σ).
- Große Schärfentiefe – bis zu ±150 µm.
UVblade
UVblade-Excimer-Laser bieten eine kostengünstige Lösung für LLO mit hoher optischer Effizienz und großer Skalierbarkeit hinsichtlich Wellenlängen und Energiedichte.
- Hohe Homogenität – 1,8 %
- Große Schärfentiefe – bis zu ±200 µm.
- Hohe Pulsenergie bis zu 2000 mJ.
Excimer Strahlführungsoptik
Holen Sie sich erstklassige optomechanische Werkzeuge für die Excimer-Strahlführung, die speziell auf die einzigartige Kombination aus hoher Pulsenergie, kurzen UV-Wellenlängen und hoher Leistung optimiert sind.
- Homogenize a Beam - <± 5% fluence variation.
- Variable Dämpfung – Präzise Energiesteuerung.
- Maskenbildprojektion – 4- bis 10-fache Verkleinerung.
VarioLas
Die VarioLas-Excimer-UV-Laser basieren auf dem leistungsstarken COMPex Excimerlaser die hochwertige UV-Mikrobearbeitung mit einer Linien- oder Rechteckstrahlform.
- Hohe Energiedichte – bis zu 7,5 J/cm².
- Vielseitig und verstellbar – gerades oder quadratisches Profil.
- Hohe optische Auflösung – ≥ 5 µm.
GeoLasGC
Die GeoLasGC-Excimer-UV-Systeme kombinieren 193-nm-Impulse, ein leistungsstarkes Polarisationsmikroskop und die Beobachtung mittels HD-Kamera für Laser-Ablation .
- Hohe optische Auflösung – 1 µm.
- Variabler Probenpunkt – 2 – 160 µm.
- Hohe Impulsstabilität – 1 % (Effektivwert).
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Was sind MicroLED-Displays?
MicroLEDs (µLEDs) sind eine relativ neue Technologie, die brillante, hochauflösende Displays ermöglicht. In den nächsten fünf Jahren wird der Markt für µLED-Displays auf über 10 Milliarden US-Dollar anwachsen – und Laser spielen eine entscheidende Rolle bei ihrer Herstellung.
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