UV-Lasersystem
Nutzen Sie unser firmeneigenes Hochenergie-UV-Laser-System optimal mit einem kompletten optischen System, das speziell für LTPS, LLO, LIFT, PLD, LA-ICP-MS und andere Anwendungen entwickelt wurde.
- Vermeiden Sie Risiken dank vertikal integrierter, langlebiger Laser-, Optik- und Mechanikkomponenten und profitieren Sie von einem Betrieb rund um die Uhr.
- Sie können dieselbe Technologie nutzen, die auch bei der Herstellung bewährter, leistungsstarker mobiler Displays für den industriellen Einsatz zum Einsatz kommt.
- Wählen Sie zwischen Systemen mit den UV-Wellenlängen 193, 248 und 308 nm sowie maßgeschneiderten Optionen mit 157 oder 351 nm.
Kompetenz im Bereich UV-Laserverfahren
Dank unserer 50-jährigen Erfahrung im Bereich UV-Laser und optische Systeme verfügen wir über fundierte Kenntnisse in der Steuerung, Formung und Fokussierung von Excimer-Strahlen. Dank unserer vertikalen Integration sind wir in der Lage, komplette Systeme nach strengsten Standards zu entwickeln, herzustellen und zu montieren.
UV-Transfer
Das UVtransfer-Lasersystem unterstützt spezielle Anwendungen für die Herstellung von microLED-Displays der nächsten Generation.
- Hoher Durchsatz – Hochenergie-Excimer-Laser ermöglichen eine große Bearbeitungsfläche.
- Für die Zukunft gerüstet – wir bearbeiten Chipgrößen von 50 bis 5 µm.
- Drei schlüsselfertige Lösungen für Prozesse von der Forschung und Entwicklung bis zur Serienfertigung.
LineBeam
Mit dem LineBeam-Excimer-UV-Laser lassen sich LTPS-Backplanes auf großen Substratplatten mit maximaler Ausbeute in Serie herstellen.
- Linienstrahl – bis zu 1500 mm.
- Homogenität – 0,6 % (2σ).
- Tiefenschärfe – maximal ±150 µm.
UVblade
Der UVblade-Excimer-Laser bietet eine kostengünstige LLO-Lösung, die sich durch hohe optische Effizienz bei der Linienlänge und Energiedichte sowie durch umfassende Skalierbarkeit auszeichnet.
- Homogenität – 1,8 %
- Tiefenschärfe – maximal ±200 µm.
- Impulsenergie – bis zu 2000 mJ.
Optik zur Übertragung des Excimer-Strahls
Ein hervorragendes optomechanisches Werkzeug für die Eximer-Strahlführung, das für die einzigartige Kombination aus hoher Pulsenergie, kurzer UV-Wellenlänge und hoher Ausgangsleistung optimiert ist.
- 빔 균질화 - <± 5% 플루언스 변동.
- Variable Dämpfung – präzise Energiesteuerung.
- Projektion des Maskenbildes – 4- bis 10-fache Verkleinerung.
VarioLas
Der VarioLas-Excimer-UV-Laser basiert auf dem leistungsstarken COMPex Laser und ist für die hochwertige UV-Feinstbearbeitung in Form von Linien- oder Rechteckstrahlfeldern ausgelegt.
- Energiedichte – bis zu 7,5 J/cm².
- Vielseitig und anpassbar – lineares oder quadratisches Profil.
- Optische Auflösung – ≥ 5 µm.
GeoLasGC
Das GeoLasGC-Excimer-UV-System ist ein System, das 193-nm-Impulse, ein leistungsstarkes Polarisationsmikroskop und eine HD-Kamera zur Beobachtung bei der Laserabtragung mittels ICP-MS vereint.
- Optische Auflösung – 1 µm.
- Variabler Probenfleck – 2 bis 160 µm.
- Impulsstabilität – 1 % (Effektivwert).
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Was ist ein MicroLED-Display?
MicroLED (µLED) ist eine relativ neue Technologie zur Herstellung gestochen scharfer, hochauflösender Displays. In den nächsten fünf Jahren wird der Markt für µLED-Displays auf über 10 Milliarden Dollar anwachsen, wobei Laser eine wichtige Rolle bei der Herstellung dieser Displays spielen.
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