Lasermaschinen und Systeme
VarioLas
Systeme auf Basis des leistungsstarken COMPex sind flexible Werkzeuge für die hochwertige UV-Mikromaterialbearbeitung mit einem Linienstrahl oder einem quadratischen Strahlfeld.
Ein überlegenes optisches Design, eine robuste Mechanik und ein Excimer-Laser mit unübertroffener Puls-zu-Puls-Stabilität liefern präzise Ergebnisse. Zu den Anwendungsbereichen zählen die Laser-Schichtseparation (LLO), die Dotierungsionenaktivierung, die ablative Strukturierung und das Dünnschichtglühen.
VarioLas – Wichtige Leistungskennzahlen
Dank der hohen Energiedichte (bis zu 7,5 J/cm²) und der Pulswiederholfrequenz von 100 Hz des VarioLas erzielen Sie präzise Abtragungs- oder Materialmodifikationsergebnisse.
Produktspezifikationen
Parameter |
VarioLas Eco |
VarioLas Pro |
VarioLas-Kehrmaschine |
Feldform |
Quadratisch |
Quadratisch |
Linie |
Feldgröße (mm²) |
2 × 2 |
2 × 2 |
50 × 0,6 |
Optische Auflösung (µm) |
30 |
5 |
– |
