UV-Lasersystem
Nutzen Sie unseren einzigartigen Hochleistungs-UV-Laser, dessen komplettes optisches System für LTPS, LLO, LIFT, PLD, LA-ICP-MS und andere Anwendungen ausgelegt ist.
- Vertikale Integration: Mit unseren extrem langlebigen Lasern, optischen Komponenten und mechanischen Bauteilen vermeiden Sie Risiken und profitieren von einem Betrieb rund um die Uhr.
- Bewährte Industriewerkzeuge basieren auf denselben Technologien, die auch für leistungsstarke mobile Displays sorgen.
- Wählen Sie aus den UV-Wellenlängenoptionen 193, 248 und 308 nm sowie den kundenspezifischen Optionen 157 oder 351 nm.
Unser Fachwissen in der UV-Lasertechnik
Mit 50 Jahren Erfahrung im Bereich UV-Laser und optische Systeme kennen wir die Herausforderungen bei der Steuerung, Formung und Fokussierung von Excimer-Laserstrahlen. Dank unserer vertikalen Integration erfüllen die von uns entwickelten, gefertigten und montierten Komplettsysteme höchste Anforderungen.
UV-Transfer
Das UVtransfer-Lasersystem unterstützt spezielle Anwendungen zur Herstellung von microLED-Displays der nächsten Generation.
- Hoher Durchsatz – Hochleistungs-Excimer-Laser ermöglichen große Feldgrößen.
- Zukunftsorientiert – geeignet für Chipgrößen von 50 µm bis hin zu 5 µm.
- Drei komplette Prozesslösungen von der Forschung und Entwicklung bis zur Serienfertigung.
LineBeam
Der LineBeam-Excimer-UV-Laser ermöglicht die großtechnische Herstellung von LTPS-Backplanes auf großen Substraten mit extrem hoher Ausbeute.
- Langer Lichtstrahl – bis zu 1500 mm.
- Hohe Gleichmäßigkeit – 0,6 % (2σ).
- Große Schärfentiefe – bis zu ±150 µm.
UVblade
Der UVblade-Excimer-Laser bietet eine kostengünstige Lösung für LLO und zeichnet sich durch hohe optische Effizienz sowie umfassende Skalierbarkeit hinsichtlich Wellenlänge und Energiedichte aus.
- Hohe Gleichmäßigkeit – 1,8 %
- Große Schärfentiefe – bis zu ±200 µm.
- Hohe Impulsenergie – bis zu 2000 mJ.
Optische Komponenten für die Übertragung von Excimer-Strahlen
Erwerben Sie erstklassige optomechanische Werkzeuge für die Übertragung von Excimer-Strahlen, die speziell für die einzigartige Kombination aus hoher Impulsenergie, kurzen UV-Wellenlängen und hoher Leistung optimiert sind.
- 均匀光束 - <± 5% 通量变化。
- Variable Dämpfung – präzise Energiesteuerung.
- Projektion des Maskenbildes – 4- bis 10-fache Verkleinerung.
VarioLas
Der VarioLas-Excimer-UV-Laser basiert auf COMPex leistungsstarken COMPex und eignet sich für die hochwertige UV-Mikrobearbeitung mit linearem oder quadratischem Strahlfeld.
- Hohe Energiedichte – bis zu 7,5 J/cm².
- Vielseitig und anpassbar – runde oder eckige Konturen.
- Hohe optische Auflösung – ≥ 5 µm.
GeoLasGC
Das GeoLasGC-Excimer-Laserabtragungssystem vereint zahlreiche Funktionen wie eine hohe Impulsenergie bei 193 nm, ein leistungsstarkes Polarisationsmikroskop und eine hochauflösende Kamera zur Beobachtung und dient der Durchführung von Laserabtragungs-ICP-MS.
- Hohe optische Auflösung – 1 µm.
- Variable Probenpunktgröße – 2–160 µm.
- Hohe Impulsstabilität – 1 % (Effektivwert).
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Was ist ein MicroLED-Display?
MicroLED (µLED) ist eine relativ neue Technologie zur Herstellung von Displays mit brillanten Farben und hoher Auflösung. In den nächsten fünf Jahren wird der Markt für µLED-Displays auf einen Wert von über 10 Milliarden US-Dollar anwachsen, wobei Laser eine entscheidende Rolle bei der Herstellung dieser Displays spielen.
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