Lasersystem
VarioLas
Das auf COMPex leistungsstarken COMPex basierende System ist ein flexibles Werkzeug, das sich für die hochwertige UV-Mikrobearbeitung mit linearer oder quadratischer Strahlform eignet.
Ein Excimer-Laser mit herausragendem optischen Design, robuster Bauweise und unübertroffener Puls-zu-Puls-Stabilität sorgt für präzise Ergebnisse. Zu den Anwendungsbereichen zählen das Trennen mittels Laser-Lithotripsie (LLO), die Aktivierung von Dotierionen, das Abtragungs-Mapping und das Tempern von Dünnschichten.
VarioLas – Einige wichtige Leistungsdaten
Dank der hohen Energiedichte (bis zu 7,5 J/cm²) und der Pulswiederholfrequenz von 100 Hz des VarioLas lassen sich präzise Abtragungs- oder Materialmodifizierungsergebnisse erzielen.
Produktspezifikationen
Parameter |
VarioLas Eco |
VarioLas Pro |
VarioLas-Kehrmaschine |
Feldform |
quadratisch |
quadratisch |
Linie |
Feldgröße (mm²) |
2 × 2 |
2 × 2 |
50 × 0,6 |
Optische Auflösung (µm) |
30 |
5 |
– |
