Lasermaschinen und -systeme
VarioLas
Das auf einem leistungsstarken COMPex basierende System ist ein flexibles Werkzeug für die hochwertige UV-Feinstbearbeitung und bietet wahlweise eine Linien- oder Rechteckstrahlform.
Eximer-Laser mit herausragendem optischen Design, robuster Mechanik und ausgezeichneter Puls-zu-Puls-Stabilität liefern präzise Ergebnisse. Zu den Anwendungsbereichen zählen LLO-Abtrennung (Laser Lift-Off), Dotierung durch Ionenaktivierung, Strukturierung durch Abtragung sowie das Tempern dünner Schichten.
VarioLas – Einige wichtige Leistungsindikatoren
Dank der hohen Energiedichte (bis zu 7,5 J/cm²) und der Pulswiederholungsfrequenz von 100 Hz des VarioLas lassen sich präzise Abtragungs- oder Materialbearbeitungsergebnisse erzielen.
Produktspezifikationen
Parameter |
VarioLas Eco |
VarioLas Pro |
VarioLas-Kehrmaschine |
Feldform |
Quadrat |
Quadrat |
Zeile |
Feldgröße ( mm²) |
2 × 2 |
2 × 2 |
50 × 0,6 |
Optische Auflösung (µm) |
30 |
5 |
– |
