Lasermaschinen und -systeme
VarioLas
Das auf einem leistungsstarken COMPex-Excimer-Laser basierende System ist ein flexibles Werkzeug für die hochwertige UV-Feinstbearbeitung mit linearer oder quadratischer Strahlfeldform.
Dank des hervorragenden optischen Designs, der robusten mechanischen Konstruktion und der hohen Puls-zu-Puls-Stabilität des Excimer-Lasers sind präzise Bearbeitungen möglich. Zu den Anwendungsbereichen zählen Laser-Lift-Off (LLO)-Trennung, Aktivierung von Dotierionen, ablative Strukturierung und Dünnschicht-Laser-Annealing.
VarioLas – Wichtige Leistungsindikatoren
Dank der hohen Energiedichte des VarioLas (maximal 7,5 J/cm²) und einer Pulswiederholfrequenz von 100 Hz sind präzise Abtragungen oder Materialverformungen möglich.
Produktdaten
Parameter |
VarioLas Eco |
VarioLas Pro |
VarioLas-Kehrmaschine |
Feldform |
Quadrat |
Quadrat |
Linie |
Feldgröße (mm²) |
2 × 2 |
2 × 2 |
50 × 0,6 |
Optische Auflösung (µm) |
30 |
5 |
– |
