Materialien
Reaktionsgebundenes SiC
Wir liefern RB-SiC-Bauteile in nahezu jeder Größe und Form, die individuell an Ihre Anforderungen angepasst sind, einschließlich hoher Ebenheit, großer Eindringtiefe und interner Kühlkanäle.
RB-SiC vereint in einzigartiger Weise physikalische Eigenschaften wie hohe Hitzebeständigkeit, geringen thermischen Ausdehnungskoeffizienten, chemische Inertheit, hohe Festigkeit sowie ein hervorragendes Verhältnis von Festigkeit zu Gewicht und eignet sich daher für Anwendungsbereiche wie Hochspannungselektronik und Halbleiterwerkzeuge.
Eigenschaften von reaktionsgebundenem SiC
Wählen Sie aus einer Vielzahl von RB-SiC-Substratmaterialien, die für unterschiedliche mechanische, thermische und elektrische Eigenschaften optimiert sind.
Eigenschaft |
SSC-702 |
SSC-802 |
SSC-902 |
SSC-HTC |
SSC-FG (feinkörniges SiSiC) |
HSC-702 (Si/SiC+Al) |
TSC-15 (Si/SiC + Ti) |
RBBC-751 (B4C/SiC/Si) |
SiCAM 700 |
SiCAM 800 |
SiC-Gehalt (Volumenprozent) |
70 |
80 |
90 |
78 |
70 |
70 |
80 |
70B4C 10SiC |
70 |
80 |
Si-Gehalt (Vol.-%) |
30 |
20 |
10 |
22 |
30 |
30 |
20 |
20 |
30 |
20 |
Schüttdichte (g/cm³) |
2.95 |
3.00 |
3.12 |
3.02 |
2.94 |
3.01 |
3.13 |
2.56 |
2.95 |
3.00 |
Elastizitätsmodul (GPa) [E] |
350 |
380 |
410 |
373 |
330 |
330 |
390 |
400 |
345 |
365 |
Poisson-Verhältnis |
0.18 |
0.18 |
0.18 |
0.2 |
0.18 |
0.19 |
0.19 |
0.18 |
0.185 |
0.185 |
Biegefestigkeit (MPa) |
270 |
280 |
280 |
265 |
350 |
275 |
225 |
280 |
280 |
290 |
Bruchfestigkeit (MPa-m¹/²) |
4 |
4 |
4 |
3.5 |
4 |
5 |
5 |
5 |
3.2 |
3.2 |
CTE (25–100 °C) (ppm/K) |
2.9 |
2.9 |
2.7 |
2.9 |
3 |
4.4 |
3 |
4.8 |
3.2 |
3.1 |
Wärmeleitfähigkeit (W/mK) |
170 |
180 |
190 |
255 |
150 |
200 |
210 |
52 |
177 |
185 |
Wärmewert (J/kg·K) |
680 |
670 |
660 |
670 |
680 |
700 |
670 |
890 |
686 |
674 |
Elastizitätsmodul (E/ρ) |
119 |
127 |
131 |
- |
112 |
109 |
125 |
156 |
117 |
122 |
Temperaturstabilität (k/α) |
59 |
62 |
70 |
- |
50 |
45 |
70 |
11 |
55 |
60 |
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