Material
Reaktionsgesintertes SiC
Wir liefern RB-SiC-Komponenten in nahezu jeder Größe und Form und bieten bei Bedarf maßgeschneiderte Lösungen an, einschließlich hoher Ebenheit, großer Eindringtiefe und interner Kühlkanäle.
RB-SiC bietet eine einzigartige Kombination physikalischer Eigenschaften (Hochtemperaturbeständigkeit, geringer Wärmeausdehnungskoeffizient, chemische Inertheit, hohe Festigkeit und gutes Festigkeits-Gewichts-Verhältnis) und eignet sich für Anwendungen wie Hochspannungselektronik und Halbleiterwerkzeuge.
Eigenschaften von reaktionsgesintertem SiC
Wählen Sie aus einer Reihe von RB-SiC-Substratmaterialien, die hinsichtlich verschiedener mechanischer, thermischer und elektrischer Eigenschaften optimiert wurden.
Eigenschaften |
SSC-702 |
SSC-802 |
SSC-902 |
SSC-HTC |
SSC-FG (feinkörniges SiSiC) |
HSC-702 (Si/SiC+Al) |
TSC-15 (Si/SiC + Ti) |
RBBC-751 (B4C/SiC/Si) |
SiCAM 700 |
SiCAM 800 |
SiC-Gehalt (Volumenprozent) |
70 |
80 |
90 |
78 |
70 |
70 |
80 |
70B4C 10SiC |
70 |
80 |
Si-Gehalt (Vol.-%) |
30 |
20 |
10 |
22 |
30 |
30 |
20 |
20 |
30 |
20 |
Schüttdichte (g/cm³) [p] |
2.95 |
3.00 |
3.12 |
3.02 |
2.94 |
3.01 |
3.13 |
2.56 |
2.95 |
3.00 |
Elastizitätsmodul (GPa) [E] |
350 |
380 |
410 |
373 |
330 |
330 |
390 |
400 |
345 |
365 |
Tachibana |
0.18 |
0.18 |
0.18 |
0.2 |
0.18 |
0.19 |
0.19 |
0.18 |
0.185 |
0.185 |
Biegefestigkeit (MPa) |
270 |
280 |
280 |
265 |
350 |
275 |
225 |
280 |
280 |
290 |
Bruchzähigkeit (MPa·m¹/²) |
4 |
4 |
4 |
3.5 |
4 |
5 |
5 |
5 |
3.2 |
3.2 |
CTE (25–100 °C) (ppm/K) |
2.9 |
2.9 |
2.7 |
2.9 |
3 |
4.4 |
3 |
4.8 |
3.2 |
3.1 |
Wärmeleitfähigkeit (W/mK) |
170 |
180 |
190 |
255 |
150 |
200 |
210 |
52 |
177 |
185 |
Spezifischer Wärmekapazität (J/kg·K) |
680 |
670 |
660 |
670 |
680 |
700 |
670 |
890 |
686 |
674 |
Elastizitätsmodul (E/ρ) |
119 |
127 |
131 |
- |
112 |
109 |
125 |
156 |
117 |
122 |
Thermische Stabilität (k/α) |
59 |
62 |
70 |
- |
50 |
45 |
70 |
11 |
55 |
60 |
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