Pulslaserabscheidung (PLD)

Mit PLD lassen sich mithilfe unseres einzigartigen, leistungsstarken Excimer-Lasers schnell verschiedene Arten von Dünnschichten herstellen.

Chemisch dosierte Dünnschichten nutzen unsere stabilen Excimer-Laser, um chemisch dosierte Schichten mit kontrollierter Gesamtdicke zu erzeugen.
Schnellere Abscheidung: Nutzen Sie die hohe Impulsenergie unserer Excimer-Laser, um großflächige Schichten schneller herzustellen.
Dank der bewährten Betriebszeit und Zuverlässigkeit unserer Laser können Sie Ihre Produktionsprozesse rund um die Uhr betreiben.

Multifunktionale Abscheidung

Immer mehr Technologien und Branchen sind auf Dünnschichten angewiesen, darunter OLED-Displays, MEMS, Halbleiter, Photovoltaik, medizinische Sensoren, Mobiltelefone und moderne Batterien.PLD ist in der Regel das Verfahren der Wahl, da es für eine Vielzahl von Materialien geeignet ist, darunter diamantähnlicher Kohlenstoff (DLC), Perowskite, piezoelektrische Materialien und Hochtemperatur-Supraleiter (HTS). In all diesen Fällen ermöglichen unsere Excimer-Laser eine schnelle PLD-Abtragung mit präziser Tiefenkontrolle und hoher chemischer Genauigkeit.

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Produktanwendungen

Supraleitende Drähte/Bänder

Mithilfe von LEAP eine kostengünstige Massenproduktion von HTS-Drähten und -Bändern LEAP .

DLC-Beschichtung aus Hartmetall

Herstellung von extrem harten DLC-Schichten mit geringer Eigenspannung LEAP unter Verwendung von LEAP .

Fortschrittliche Solarenergie

Entwicklung von Perowskit-basierten Bauelementsystemen sowie anderer Photovoltaik-Bauelemente der nächsten Generation unter Verwendung von COMPex .

HF-Piezofilter

Mit dem Excimer-Laser (PLD) lassen sich piezoelektrische Sc:AlN-Dünnschichten für HF-Filter herstellen, die die für 5G und zukünftige Mobilfunktechnologien erforderlichen piezoelektrischen Eigenschaften und Hochfrequenzcharakteristika aufweisen.

Dünnschichtwafer

Mit dem Excimer-Laser (PLD) lassen sich komplexere Kristallschichten auf größeren Wafern (bis zu 300 mm) herstellen, die in MEMS, Halbleitern, der Photovoltaik und OLED-Displays zum Einsatz kommen.

Festkörper-Dünnschichtbatterie

PLD eignet sich zur Herstellung fortschrittlicher Festelektrolyte, darunter Anoden- und Kathodenmaterialien, die sich durch eine einstellbare Dichte und stöchiometrie sowie eine Dickengenauigkeit im Nanobereich auszeichnen.

Ausgewählte Blogs

PLD: Von der Laborforschung bis zur Serienproduktion

Erfahren Sie, wie mit Hilfe der Excimer-Laser-Abscheidung hochwertige Schichten hergestellt werden.

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Solmates: Excimer-Laser treiben die Pulslaserabscheidung voran

Vorstellung COMPex : Ein extrem leistungsstarker Vakuum-Ultraviolett-Laser

PLD-Produkte

COMPex

COMPex erzeugen Impulsenergien im Bereich von mehreren hundert Millijoule und zeichnen sich durch eine hohe Impuls-zu-Impuls-Stabilität sowie eine hervorragende Strahlgleichmäßigkeit aus, wodurch sie sich für anspruchsvolle Anwendungen eignen.

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LEAP

LEAP zeichnet sich durch eine hohe Einschaltdauer, Zuverlässigkeit und niedrige Betriebskosten aus und ermöglicht eine hochenergetische und hochpräzise Bearbeitung.

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LAMBDA SX

LAMBDA SX ein industrieller UV-Excimer-Laser LAMBDA SX Produktionsanlagen, der sich durch stabile Hochenergieimpulse auszeichnet, die Bearbeitung großer Flächen mit UV-Licht ermöglicht und eine hohe Strahlstabilität aufweist.

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Erfolgsgeschichten

Universität Augsburg

„Die Praxis hat gezeigt, dass sich dieser 248-nm-Excimerlaser für die PLD vieler verschiedener Oxide eignet und die für unsere aussagekräftigen quantitativen Untersuchungen erforderliche Strahlhomogenität sowie eine hohe Stabilität zwischen den Impulsen bietet.“

— Helmut Karl, Professor am Institut für Physik der Universität Augsburg

Im Video-Fokus:

Das Unternehmen Solmates aus Enschede entwickelt Dünnschichtanlagen unter Einsatz von Hochleistungs-Excimerlasern

Mithilfe LEAP leistungsstarken LEAP haben Arjen Janssens und seine Kollegen von der niederländischenFirma Solmates in Enschedeeine innovative Anlage zur gepulsten Laserdeposition entwickelt, die bei der Entwicklung zukünftiger Chip-Designs und der Integration neuer Dünnschichtmaterialien eine entscheidende Rolle spielen wird. Erfahren Sie mehr über den Einsatz von Lasertechnologie in der Dünnschichtindustrie.

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