Allgemeine optische Komponenten
Mikrolinsenarray
Erstellen Sie mit unseren eindimensionalen oder zweidimensionalen Mikrolinsenarrays (MLA) äußerst kompakte Kollimations- und Fokussiersysteme.
Coherent MLA 通常配置有以正方形或六边形周期性图案排列的单个小透镜,透镜间距为几百微米。它们可以使用纳米压印、光刻和玻璃成型工艺进行制造。
微透镜阵列功能
Coherent 可以使用多种材料生产多种结构的 MLA。可以在 6 英寸硅晶圆上大批量生产近红外 MLA。
硅微透镜阵列规格
材料规格 |
|
Material |
Silizium |
反射率 |
≈ 3.42 |
透明度 |
R <0.2% T >99% @ 1260-1340 nm |
制造规格 |
|
直径 |
600 ±5 μm |
厚度 |
400 ±10 μm |
间距 |
750 ±1 μm |
通光孔径 |
>510 nm |
曲率半径 |
3.0 mm |
锥形 |
0 |
Oberflächenrauheit |
<5 nm RMS |
透镜表面轮廓偏差 |
<35 nm RMS |
Oberflächenqualität |
刮痕:5/1x0.025(基于 ISO 10110-7) |
崩裂 |
<100 μm |
边缘垂直度 |
90 ±2° |
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Kompetenzen in der optischen Fertigung
Erfahren Sie mehr über die vertikal integrierten Kompetenzen von Coherent in den Bereichen Materialwachstum, Fertigung, Beschichtung und Montage sowie über unsere strenge Qualitätssicherung. Erfahren Sie, wie diese Kompetenzen die Leistung und Zuverlässigkeit unserer optischen Komponenten gewährleisten und Risiken sowie Unsicherheiten in der Lieferkette auf ein Minimum reduzieren.