Allgemeine optische Komponenten
Spiegel mit variablem Radius
Dieses optische Element ermöglicht eine dynamische Anpassung der Schärfentiefe und gleicht Fokusverschiebungen über den gesamten Arbeitstisch aus, wodurch die Effizienz CO₂ gesteigert wird.
可变半径反射镜是一种独特的组件，可通过水压或气压改变光学元件的曲率半径，从而动态调整光束发散度。它们可以采用多种定制配置。
可变半径反射镜 (VRM) 功能
Coherent 采用专有的设计技术来准确建模 VRM 形状，预测其在压力下会如何变形，并针对特定应用对其进行优化。
典型铜 VRM 规格 |
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加压方法 |
Wasser |
空气 |
反射镜直径 |
57.1 mm |
79.0 mm |
通光孔径 |
35 mm |
50 mm |
半径范围 |
-6 m 至 6 m 3 m 至平面 平面至 3 m 1.2 m 至 -1.6 m |
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加压范围 |
3 至 12 bar |
0 至 12 bar |
入射角 |
接近正常 |
45° |
指向稳定性 |
≤ 30 角秒 |
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反射率 |
> 99.8% (10.6µm) |
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Kompetenzen in der optischen Fertigung
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