レーザ
IndyStar
193 nmまたは248 nmの波長で最大2 kHzのパルス繰返周波数のアプリケーション用に設計された、堅牢で高デューティサイクルの産業用エキシマレーザをご用意しました。
信頼性、耐久性、使いやすさ、そして高度なパルス制御を実現した生産ラインツールです。 IndyStarレーザは、インクジェットノズルの穴あけ、計測、光学試験などに広く使用されています。 フォトマスク検査や関連アプリケーションで使用されるSemi-S2準拠のレーザです。
IndyStarの主な性能指標の概要
193 nmまたは248 nmの波長、最大2 kHzの繰返周波数、最大12ワットの出力で動作します。
| Modellname | Wellenlänge (nm) | 最大パルス繰返周波数（Hz） | 最大パルスエネルギー（mJ） | 最大出力（W） |
| IndyStar kHz | 193 | 1000 | 8 | 8 |
| IndyStar kHz | 2000 | 4 | ||
| IndyStar kHz | 248 | 1000 |
12 |
12 |
| IndyStar kHz | 2000 | 6 |
