Laser
IndyStar
193~248nm 파장에서 최대 2kHz 펄스 반복 속도 용도에 적합하도록 설계된 견고한 고성능 사이클 산업용 엑시머 레이저를 확보합니다.
신뢰성, 수명, 사용 용이성 및 고급 펄스 제어를 제공하는 생산 라인 도구. IndyStar 레이저는 잉크젯 노즐 드릴링, 계측 및 광학 테스트에 널리 사용됩니다. 포토마스크 검사 및 관련 용도에 사용하기 위한 Semi-S2 호환.
주요 IndyStar 성능 지표 개요
최대 2kHz의 반복률에서 작동하며, 최대 12W의 전력을 공급합니다.
| Modellbezeichnung | Wellenlänge (nm) | Maximale Pulsfrequenz (Hz) | Maximale Pulsenergie (mJ) | Maximale Leistung (W) |
| IndyStar 1kHz | 193 | 1000 | 8 | 8 |
| IndyStar 2kHz | 2000 | 4 | ||
| IndyStar 1kHz | 248 | 1000 |
12 |
12 |
| IndyStar 2kHz | 2000 | 6 |
