Laser
IndyStar
Robuster und langlebiger Industrie-Excimer-Laser mit hohem Tastverhältnis, speziell entwickelt für Anwendungen mit einer Pulswiederholfrequenz von bis zu 2 kHz bei Wellenlängen von 193 nm oder 248 nm.
Diese Produktionslinienwerkzeuge zeichnen sich durch Zuverlässigkeit, lange Lebensdauer, Benutzerfreundlichkeit und fortschrittliche Impulssteuerung aus. IndyStar von Tintenstrahldüsen, für Messungen und optische Prüfungen IndyStar . Sie entsprechen dem Semi-S2-Standard und eignen sich für die Prüfung von Fotomasken sowie für verwandte Anwendungen.
IndyStar – Überblick über die IndyStar Leistungsindikatoren
Betrieb bei 193 nm oder 248 nm, mit einer Wiederholfrequenz von bis zu 2 kHz und einer Leistung von bis zu 12 W.
| Modellbezeichnung | Wellenlänge (nm) | Obere Grenze der Impulsfrequenz (Hz) | Maximale Impulsenergie (mJ) | Maximale Leistung (W) |
| IndyStar kHz | 193 | 1000 | 8 | 8 |
| IndyStar kHz | 2000 | 4 | ||
| IndyStar kHz | 248 | 1000 |
12 |
12 |
| IndyStar kHz | 2000 | 6 |
