Lasermaschinen und -systeme
LineBeam
Das LineBeam-System ist eine optische Technologie, die die Massenfertigung von LTPS-Backplanes für große Trägerplatten mit hoher Produktivität ermöglicht.
Wir bieten Linearstrahlprofile mit einer Länge von bis zu 1500 mm an, die für Panelgrößen bis zu Gen 10.5 geeignet sind. Die gleichmäßige Intensität des Strahls entlang der kurzen und langen Achse maximiert den Durchsatz und die Strahlausnutzung. Hervorragende Impulsstabilität und eine hohe Tiefenschärfe ermöglichen ein großes Prozessfenster.
LineBeam – Wichtige Leistungskennzahlen
Da der Strahl des LineBeam eine zylinderförmige Verteilung aufweist, bietet er trotz der durchgehend kurzen Wellenlänge von 308 nm eine hervorragende Gleichmäßigkeit sowohl in Längs- als auch in Querrichtung.
Produktdaten
Parameter |
Zahlen |
|||
Länge (mm) |
750 |
1000 |
1300 |
1500 |
Arten von Strahlprofilen |
Zylinderförmige Verteilung entlang beider Achsen |
|||
Tiefenschärfe (µm) |
±150 |
±120 |
±120 |
±120 |
Gleichmäßigkeit der Festigkeit des Längsträgers (in %) |
0,6 (2σ) |
|||
Gleichmäßigkeit der Festigkeit bei Kurzstrahl (in %) |
0,8 (2σ) |
|||
