Lasersystem
LineBeam
Das LineBeam-System ist eine unterstützende optische Technologie, die sich für die Massenfertigung von LTPS-Backplanes auf großen Substraten eignet und eine extrem hohe Ausbeute gewährleistet.
Bietet ein Linienstrahlprofil von bis zu 1500 mm für Panelgrößen bis zu Gen 10.5. Verfügt über eine Homogenität des Strahls entlang der Längs- und Querachse, die auf die Maximierung der Produktionskapazität und der Strahlausnutzung ausgelegt ist. Hervorragende Impulsstabilität und eine große Tiefenschärfe gewährleisten ein großes Prozessfenster.
LineBeam – Einige wichtige Leistungsindikatoren
Dank des „Top-Hat“-Strahlprofils von LineBeam wird sowohl auf der kurzen als auch auf der langen Achse eine hervorragende Homogenität erzielt, und zwar durchgehend bei der kurzen Wellenlänge von 308 nm.
Produktspezifikationen
Parameter |
Wert |
|||
Kabellänge (mm) |
750 |
1000 |
1300 |
1500 |
Typen von Strahlanalysatoren |
Flachdach-Doppelachser |
|||
Schärfentiefe (µm) |
±150 |
±120 |
±120 |
±120 |
Homogenität entlang der Längsachse (%) |
0,6 (2σ) |
|||
Homogenität der kurzen Achse (%) |
0,8 (2σ) |
|||
